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马弗炉的真空系统结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。如何解决马弗炉的的漏气问题是大家都比较关心的问题。
一、密封类型的选择
马弗炉密封类型可根据用户所需真空度的高低及实际工作需要选择密封类型,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需利 用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用 “O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则利用“0”型密封圈密封类型,直径压缩比为25%。
二、密封件材质的选用
马弗炉真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足需求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度高可达2300oC,密 封部位进行水冷后,其温度在80oC左右,个别处温度可达100oC以上)。因此,要选择比较理想的密封圈材料。用于真空密封橡胶材料,除需求具有光洁表 面、无划伤、无裂纹外,还需求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
三、密封结构的选择
马弗炉的真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,马弗炉设备的密封结构都进行认真设计,以达到 理想的效果。对密封结构的设计,重点考虑如何选择重点密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能等方面。
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